技术方案 | 刻蚀机喷淋盘如何实现高效检测?
刻蚀机作为芯片制造三大主设备之一,是我国打破垄断、寻求“芯”突破的拳头产品。刻蚀技术为硅片上做“微雕”,因此对设备的精密性、稳定性要求极高,其关键难点在于保证晶圆表面的刻蚀一致性,而这很大程度上取决于刻蚀气体的馈入方式。喷淋盘则是刻蚀机馈入刻蚀气体的主要部件。一个直径近半米的喷淋盘上,均匀地分布着几千个细小的圆孔,反应气体正是通过这些小孔进入反应腔体,在射频作用下形成均匀分布的等离子体。
刻蚀机作为芯片制造三大主设备之一,是我国打破垄断、寻求“芯”突破的拳头产品。刻蚀技术为硅片上做“微雕”,因此对设备的精密性、稳定性要求极高,其关键难点在于保证晶圆表面的刻蚀一致性,而这很大程度上取决于刻蚀气体的馈入方式。喷淋盘则是刻蚀机馈入刻蚀气体的主要部件。一个直径近半米的喷淋盘上,均匀地分布着几千个细小的圆孔,反应气体正是通过这些小孔进入反应腔体,在射频作用下形成均匀分布的等离子体。
8月16日,海克斯康智慧产业园迎来辽宁省沈抚改革创新示范区(以下简称沈抚示范区)管委会及中国联通辽宁省分公司一行,三方就海克斯康辽宁双智数字赋能中心项目及产业数字赋能战略合作进行隆重签约仪式。辽宁省沈抚改革创新示范区管委会副主任刘为东、海克斯康测量系统大中华区CEO兼海克斯康大中华区CFO王德勇、中国联通辽宁省分公司副总经理许宏印、海克斯康智能制造研究院执行院长隋占疆、海克斯康制造智能公共与政府事务部总经理王振环、慧新全智工业互联科技(青岛)有限公司总经理尚明憬等领导嘉宾共同出席。1以数字赋能促转型发展攻坚产业升级辽宁双智数字赋能中心的签约,是海克斯康继南安、崇州、东营赋能中心后的又一重要战略项目。近年来,海克斯康以“构建智能制造生态系统,赋能行业数字化转型”为重点,凭借在工业软件、智能装备领域丰富的产品技术,通过与多个领域战略生态伙伴的协同,有效解决中国中小企业发展共性需求,为国内的制造企业持续赋能。
8月24日,中国瑞典商会携企业会员代表团到访海克斯康,来自12家瑞典企业的26位会员代表共聚海克斯康智慧产业园,共话中瑞企业合作和高质量发展。代表团一行首先参观了海克斯康智慧产业园的双智赋能中心,海克斯康制造智能商务运营事业群总经理詹亚南带领商务团队热情接待,为代表团详细介绍了海克斯康的高新技术产品方案以及生产运营状况。多年来,海克斯康持续引进学习全球前沿技术,深耕中国市场,以本土企业实际需求为导向,加大本地化研发投入,围绕工业软件与高精度智能装备,不断扩大在华投资,持续赋能汽车制造、航空航天、电子制造、石油化工以及智慧城市建设等二十多个行业领域。海克斯康制造智能商务运营事业群总经理詹亚南实地参观与对话交流加深了代表团对海克斯康的全面了解,并为未来多方业务合作奠定了坚实基础。
过程质量数据分析是现代制造的基石,随着各个领域的智能工厂将质量数据深⼊地应⽤于制造业的过程分析,对质量数据的高效管理与应用也提出了更⾼的技术要求。因此,企业不仅需要加强质量管理体系建设,还需要迎接质量数据的采集、监控、管理、评定、报告和归档等问题。本期直播将从过程质量数据分析方法与实践的客观难度出发,讲解如何用有效的手段打通过程质量数据采集端的壁垒。欢迎预约报名!8月31日(周四)14:00识别上方二维码,立即预约直播亮点抢先看现代制造业海量的质量数据需要更为有效的数据分析工具,因此质量数据过程分析基于抽样技术和统计推断理论的统计过程技术均得到了广泛应用。
随着现代工业的飞速发展,在汽车制造、航空航天、能源重工、轨道交通、工程机械等行业,企业对产品质量的要求日渐提高,同时测量需求也越来越多样化,传统的测量技术很难实现复杂零部件的现场检测。作为一款在可以任何环境下灵活使用的便携式产品,关节臂测量机的出现重新定义了现场测量,它能轻松解决车间现场的各种测量难题,为企业实现质量提升和过程控制提供了完美的解决方案。海克斯康作为关节臂测量技术的首创者,始终坚持技术创新、精益求精的工匠精神,不断推出高质量、高性能的关节臂测量产品,为满足用户在不同环境下的多种测量需求,提供了高效、精确、可靠的现场测量解决方案。本期直播,我们邀请海克斯康关节臂技术专家,为大家带来关节臂技术突破以及激光3D扫描全新应用讲座,带您迅速掌握更灵活、更高效、更轻松的现场检测方案。
8月8日-10日,第五届(安徽)新能源汽车三电系统工程大会在合肥隆重举行。近50家来自汽车行业的领先企业以及500多位业内嘉宾共聚合肥,共话三电智造。海克斯康受邀出席本次盛会,携新能源三电智造解决方案与生态伙伴共同探索新能源三电领域最新技术。作为中国汽车制造业的重要基地之一,合肥的新能源汽车市场正处于快速发展阶段。
引言混合方法是一种常用的计算气动声学方法。该方法认为气动声源与流动的湍流相关,但声场对流场没有反作用。该方法本质上是一个两步求解方案。第一步,使用URANS、LES或DES求解非定常流场。
全球制造业正加快推进数字化进程,如何快速提升生产效率、提高生产质量,实现生产的自动化和智能化,已是企业当前发展的重中之重。在航空航天、船舶制造、能源重工等制造行业,由于大尺寸零件较多,加工和检测难度较高,企业一直期待能够找到更加灵活高效、精度稳定且适用于自动化应用的测量方案。 海克斯康为满足这部分用户需求,帮助企业实现大尺寸零部件高质量的扫描检测,全新推出了AS1-XL蓝光绝对扫描测头。它专为大型零件表面检测而设计,拥有超宽的扫描线和超高的测量速度,支持Leica激光跟踪仪和绝对臂测量机跨平台使用,可实现飞机蒙皮、船舶螺旋桨、汽车铸造件等大型零件以及深腔零件的高效测量。
动力总成是汽车的核心部件,直接决定了整车性能的优劣,对耐久性的分析研究又是动力总成开发过程之中的重要一环。动力总成载荷条件复杂,时刻为变转速、变载荷系统,因此对其中的齿轮、轴承等关键零部件的系统级校核难度大。海克斯康工业软件旗下Adams多体动力学仿真软件可以对车辆进行各种路况和工况的仿真研究,提取传动系统的载荷输入的波动信息;Romax传动系统仿真平台可导入Adams获取的载荷信息,进而准确详细的校核齿轮、轴承和轴等关键零部件的耐久性。本期直播将与大家分享通过Adams和Romax的联合仿真为动力总成耐久分析的准确度和便捷性提供的新的方法。